Přejít k obsahu

Výzkum a vývoj nových pulzních plazmových technologií pro depozici pokročilých tenkovrstvých materiálů

Kód projektu: FV30177
Poskytovatel: Ministerstvo průmyslu a obchodu
Doba trvání: 01.01.2018 - 30.06.2021
Hlavní řešitel:

Klíčová slova

Vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování (HiPIMS); Pulzní technologie; Obloukové odpařování; Depozice; Tenkovrstvé materiály; Nanočástice; Reaktivní naprašování; Energie iontů; Diagnostika plazmatu; Izolační substráty; Senzory

Zpět na seznam projektů

Patička